仪器列表：

1.手动探针台

2.信号源分析仪

3.功率器件分析仪/曲线追踪仪

4.参数分析仪

5.探针台

6.矢量网络分析仪（两台）

7.频谱仪

8.金相显微镜

9.半自动四用键合机

10.矢量信号发生器

11.信号分析仪

12.霍尔效应测磁仪

13.脉冲码型发生器

14.信号分析仪

15.数字示波器

16.功率计

17.通道逻辑分析仪

18.手动探针测试台

19.脉冲/数据发生器

20.直流电源

21.多通道输出直流电源

22.恒压恒流稳压电源

预约联系方式：

李老师：15851805838

顾老师：18913980003

电话、短信、微信均可（微信号同手机号）

仪器介绍：

1. 手动探针台（需参加设备操作考试，需预约）

型号：Cascade MPS150

设备特点：增强型手动分析探针台，用于为各种半导体芯片、微波器件等提供一个光、电参数测试、分析的平台，可吸附多种规格的圆片及芯片，并提供可调测试针及探卡测试针座。适用于大学、实验室、大生产线对芯片进行科研分析、抽查测试等用途。

性能指标：

性能名称		性能指标
可测圆片尺寸		2″、3″、4″、6″
工作台	行程	160mm×160mm
	结构	精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠
	分辨率	0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选）
	操作方式	手轮
承片台	Z向接触/分离	行程0-3mm
	Z向粗调行程	10mm
	θ向微调范围	±15度（360度可选）
针座平台	升、降行程	0.66mm
	接触/分离	真空吸附
吸片盘	吸片方式	真空吸附
	分档	（2″、3″）、4″、6″单独真空吸附，三档可选
上、下片方式		快速抽屉式上、下片
显微镜微调支架		X方向±45mm，Y方向±45mm，Z方向30mm，整体后仰角20º可调，显微镜的前后倾角为30º
外形尺寸		610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
设备重量		约40KG
使用环境	电源	AC220V±22V50Hz±1Hz
	功率	0.05kW
	真空	-80KPa
	环境温度	15ºC-30ºC
	相对湿度	＜60%

2. 信号源分析仪（需预约）

型号：Agilent E5052A/B

技术参数：

• 频率范围

 RF输入频率范围：10MHz至110GHz（SSA Frequency Selection Guide）

分析偏置频率范围：1Hz至100MHz

使用超低本底噪声和交叉关联方法来测量相位噪声

频率瞬时捕获范围：窄带高达80MHz，宽带高达4.8GHz

• 噪声测量功能

使用超低本底噪声和交叉关联方法来测量相位噪声

无需改变RF连接即可测量AM噪声和相位噪声

从1Hz到100MHz的基带噪声测量

实时模式中扫宽高达15MHz的频谱监测

• 分析功能

可随时对频率、相位和功率同时进行瞬时测量

利用视频触发功能捕获不可预知的频率变化

使用出色的低噪声直流电源进行全面的VCO表征（频率/功率/直流电源电流随Vc和Vs变化的关系）

具有fs分辨率的时钟抖动测量0

3. 功率器件分析仪/曲线追踪仪（需参加设备操作考试，需预约）

型号：Keysight B1505A

仪器特点：一款适合功率器件测试的综合解决方案，具有sub-pA至10kV/1500A的宽测量范围，并可提供精密的µÙ导通测量功能。此外，其10 µs快速脉冲功能能够执行完整的功率器件表征，并对新功率器件（例如IGBT）和宽带隙材料（例如，碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）进行测试。该解决方案通过易用的软件环境还可显着提高输入检测和故障分析功能。

性能指标：

1. 广泛的工作条件与精密测量功能相结合

• 适合功率器件表征的综合解决方案，高达1500A和10kV

• 中等电流测量和高电压偏置（例如，500mA，1200V）

• μΩ导通电阻测量功能

• 高电压偏置时，可进行精确的sub-pA电平电流测量

• 在-50℃至+250℃温度范围内进行全自动热测试

2. 广泛的器件测量功能

• 可在高达3000V直流偏置时执行全自动电容测量（Ciss、Coss、Crss等）

• 10μs高功率脉冲测量

• 封装器件和晶圆上IGBT/FET栅极电荷测量

• 高电压/强电流快速切换选件，适用于GaN电流崩塌效应表征

• 多达5个高电压（3kV）电源/测量通道，提供最大的灵活性

• 通过互锁测试夹具执行安全的与温度相关的测试

3. 改进的测量效率

• 在高电压和强电流测量之间自动切换，无需重新布线

• 自动测试电路形成，可用于封装器件和晶圆上器件的晶体管结电容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds等）测量

• 具有互锁机制的标准测试夹具，可进行封装功率器件测试

• 支持高达200A和10kV的高功率晶圆上测试

• 示波器视图支持对应用电压和电流波形的验证

• MS Windows Easy EXPERT软件简化了数据管理和分析流程

4. 可升级和可扩展的硬件体系结构

• 广泛的测量模块选择

• 支持具有高达6个连接引脚的高功率器件

4. 参数分析仪（需参加设备操作考试，需预约）

型号：Keithley4200A-SCS

简介：4200A-SCS是一个模块化、可定制高度一体化的参数分析仪，可同时进行电流-电压（I-V）、电容-电压（C-V）和超快脉冲I-V电学测试。使用其可选的4200A-CVIV多通道开关模块，可轻松地在I-V和C-V测量之间切换，无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS是最高性能的分析仪，可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。

仪器特点：

• 快速、清晰和准确地执行I-V特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态I-V测量

• 高级测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能，实现清晰、卓越的测量和分析

• 快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导

• ±210V/100mA或±210V/1A模块，100fA测量分辨率，以及带可选前放的0.1fA测量分辨率

• 交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），1kHz-10MHz频率范围

• 在I-V和C-V测量之间轻松切换或将C-V测量移至任何终端，而无需重新布线或抬起探针

• 两个独立或同步的高速脉冲式I-V源和测量通道；200MSa/s，5ns采样率；利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安

• 两通道高速脉冲电压源；±40V（80Vp-p），±800mA

• 可完全定制和升级

5. 探针台（需参加设备操作考试，需预约）

型号：Cascade Microtech M150

仪器特点：一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切芯片至150mm晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。优越的应用灵活性使得M150能满足DC和RF测量、器件和晶圆表征测试（DWC）、失效分析（FA）、亚微米探测、MEMS和光学工程测量；M150也能用作一个灵活的探头卡，实现wafer级的可靠性应用（WLR），能同时配备多达20个探针座。

技术参数：

• 基座基本尺寸含升高板的尺寸面积Z轴可移动范围

标准平台675mm×675mm825mm×675mm1960cm25.5mm

多功能平台825mm×675mm847mm×758mm2700cm2

• X-Y-θ平台XY范围最小步长θ范围晶圆范围

真空运行平台155mm×155mm 3μm+ /-60° 70mm

标准平台155mm×155mm 2μm+ 45° (CCW)，-90° (CW) 250mm

快速运行平台155mm×155mm 1μm+ 45°(CCW)，-90° (CW) 275mm

• DUT支架卡盘基底平整度三轴接头绝缘层附加卡盘

 150mm卡盘150mm真空卡盘晶圆，陶瓷＜10μmYes＞100GΩ2个独立的卡盘，且还有一个附加卡盘

 PCB150mm宽支架PCB，移动装置

• 显微镜支架移动范围（XY）Z方向最小步长

臂式支架＞150mm×150mm

 LAHS显微镜支架150mm×150mm可选，最大为100mm-2μm

6. 矢量网络分析仪（两台）（需参加设备操作培训，需预约）

型号：Keysight E5071C ENC

使用范围：具有广泛的频率范围和众多功能，在同类产品中具有最高的射频性能和最快的测试速度。它是制造工程师和研发工程师测量9 kHz至8.5 GHz射频元器件和电路的最佳工具。

性能指标：

• 频率范围：300kHz至8.5GHz

• 在测试端口处保持125dB动态范围（典型值）

• 宽动态范围：在测试端口上的动态范围>123dB（典型值）

• 极快的测量速度：39ms（进行完全双端口校准，扫描1601点时）

• 低迹线噪声：0.004dBrms（70kHz IFBW时）

• 集成的2和4端口，带有平衡测量能力

• 提供频率选件：从9kHz/100kHz（带有偏置T型接头）到4.5GHz/8.5GHz

• 扫描速度：9.6微秒/点

• 迹线噪声：0.001dBrms

• 集成的2、3和4端口，带有平衡测量能力

• 夹具嵌入/反嵌和端口特性阻抗转换

• 用于变频设备的频率偏置模式

• 内置Visual Basic 7 for Applications（VBA）

• 测量向导助手软件

7. 频谱仪（需预约）

型号：Agilent N9020A

简介：通过增加针对新一代技术的信号分析和频谱分析能力，具备了中档分析仪的最高性能。它突破了以往分析仪的极限，支持业界最快的信号和频谱分析,实现了速度与性能的最佳优化。

仪器性能：

• 0.3 dB绝对幅度精度

•  +15dBm第三阶截距(TOI)

•  -154 dBm/Hz显示的平均噪声电平（DANL）

•  78 dB W-CDMA ACLR动态范围(噪声修正功能启动)

• 测量应用软件

• 频谱分析、手机WiMAX、W-CDMA、HSDPA/HSUPA和相位噪声测量应用 测量应用软件

•  MXA内部运行世界领先的信号分析软件。 MXA中的89601A VSA软件

速度：

• 测试速度超过其它所有频谱和信号分析仪30-300%

•  5 ms的标记峰值搜索速度

•  75 ms的测量/模式切换速度

特性：

•  25 MHz分析带宽

• 先进连接：符合LXI C类标准，USB、100based-T LAN、GPIB

• 分析仪中最先进的用户界面

• 开放式Windows XP操作系统

•  Agilent N9020A MXA信号分析仪(含LTE选件)：

•  503：频率范围20 Hz到3.6 GHz

•  B25：25 MHz分析带宽

•  PFR：精确的频率参考

•  EA3：电子衰减器，3.6 GHz

•  P03：前置放大器，3.6 GHz

•  N9079A-1FP：TD-SCDMA测量应用软件

•  N9079A-2FP：HSDPA/8PSK测量应用软件

•  N9082A-1FP：LTE TDD测量应用软件, 固定license

•  N9080A-1FP：LTE FDD测量应用软件, 固定license

8. 金相显微镜（需参加设备操作考试，需预约）

型号：Leica DM6000M

厂商：德国徕卡显微系统

仪器特点：

• 可选配带角度调节的目镜筒，大大降低操作者的疲劳

• 目镜视野直径25mm，比普通目镜提高了30%的观测面积

• 物镜直径32mm，使光通量比普通物镜提高了40%

• 物镜自动转换，也可手动控制

• 可升级选配电动变倍器，有1.5X、1.6X、2X三种可选

• 明场、暗场、偏光、干涉观察方式自动转换

• 实现微分干涉观察方式只需按一个键即完成以往的复杂操作，即简单又省时

• 照明光强、孔径光阑、视场光阑与物镜转换连动，自动到达设定位置，无需调节

• 遥控器控制X、Y、Z三方向调节

•  LCD触摸屏即可控制显微镜操作，又可即时显示工作状态，包括物镜倍数、光强光阑大小、变倍数，Z轴数值等

• 莱卡金相显微镜DM6000M可选配徕卡原装显微镜专用数码摄像头，实现全部的本厂配置，达到整体和谐

• 显微镜可通过软件控制, 可对显微镜进行设定，可编程控制，即将某种固定观察条件定义到一个按键上，只需按此键，就可到达设定的条件，大大节省时间

• 可选配多用户管理软件，分别存储不同用户管理设定，方便多用户个性化使用

• 可选配快速恢复软件，即可通过每次采集照片时，记录当时的工作参数，可在以后任意时候恢复当初拍照片时的工作状态

• 可选配徕卡各种图像处理及分析软件，包括景深扩展软件，通用图像分析软件，金相分析专用软件

• 反射光可实现明场, 暗场, 偏光, 微分干涉, 荧光观察功能

• 透射光可实现明场, 暗场,偏光, 微分干涉观察功能

• 可接干涉台阶仪进行高精度测量

• 可接大尺寸物台用于半导体检测

• 可接CCD相机配合图像分析软件进行材料分析

• 可升级为其他观察方法

性能指标：

• 目镜：10X、视域直径25mm

• 目镜筒：可55-75mm瞳间距调节

• 物镜倍数及分辨率:

 5X，NA=0.1510X，NA=0.30 20X，NA=0.50

 50X，NA=0.85100X，NA=0.90

• 电动载物台：移动行程X-Y=76mmX38mm,精度小于30um

• 电动调焦： 升降范围=50mm，

具有0.015um、0.1um、0.7um、1.5um、5um五档步进精度

• 标准放大倍数: 50X--1000X

•  LCD显示屏：76mm×49mm

• 物镜位数：6位

9. 半自动四用键合机（两台）

型号：West Bond 454647E

厂商：美国West Bond公司

使用范围：

•  45 度锲键合

•  90 度深腔锲键合

• 超声锲键合, 超声热锲键合, 热锲键合

• 深腔球键合

• 凸点制作

• 金带键合

• 金丝，铝丝键合

• 无限Y和Z用于超大, 超高模块/器件键合

•  RF模块/器件键合专用机

性能指标：

• 所有键合参数均可编程

• 超声功率5W

•  ESD防静电保护，深腔大于13mm

• 线径范围：18-75um

10. 矢量信号发生器

型号：Anritsu MG3710A

仪器特点：具有卓越的射频和基带性能。MG3710A具有宽带矢量调制能力，可从深层存储生成内置基带波形，以确保最大的多功能性。它支持所有关键移动通信和无线LAN标准，而且性能出色，符合新兴和专有无线通信技术的要求。双射频和双波形选项可让单个MG3710A输出最多四个独立调制的信号。MG3710A可以简化通常需要多个同步信号发生器的复杂测试场景，例如：

• 有用干扰信号，用于接收机阻塞测试

• 有用两个CW音调，用于接收机交调测试

• 有用延迟信号，用于多路径测试

• 多个有用信号，用于MIMO测试

• 多个有用信号，用于LTE-Advanced载波聚合测试

基本性能：

频率范围	100kHz至2.7/4/6GHz(第一个射频选件032/034/036) 100kHz至2.7/4/6GHz(第二个射频选件062/064/066)
高功率输出	+23dBm(CW，400MHz至3GHz)
SSB相位噪声	<-131dBc/Hz(典型值)(1GHz，20kHz偏置，CW)
ACLR	-71dBc(W-CDMA，测试模型1，64DPCH，≤+5dBm)
切换速度	<600μs(频率/振幅，列表/扫描模式)

基带性能：

• 射频带：内置，160MHz*/120MHz基带发生器
  （*:WirelessLANIEEE802.11ac。仅当使用MX370111A和MX370111A-002时）

• 大型64Msamples波形存储器，带有至1024Msamples的可选扩展件

• 预安装标准波形模式
  LTE（E-TM1.1至TM3.3）、W-CDMA/HSDPA、GSM/EDGE、CDMA20001x/1xEV-DO、Bluetooth、GPS、GLONASS、QZSS、PDC、PHS、Broadcast（ISDB-T/BS/CS/CATV）、WLAN（IEEE802.11a/11b/11g）、Mobile WiMAX

• 采用波形生成软件（IQ producer）生成信号

 LTE/LTE-Advanced、WLAN11a/b/g/n/j/p/11ac、Mobile WiMAX、W-CDMA/HSPA、cdma20001xEV-DO、TD-SCDMA、Fading、Multi-Carrier、DVB-T/H、TDMA

11. 信号分析仪

型号：Keysight N9000A CXA

仪器特点：

• 噪声指数、相位噪声、模拟调变，以及Keysight 89601X向量信号分析应用程序

• 超过70种信号格式的进阶分析及软件执行Keysight CXA信号分析仪内建Keysight 89600 VSA软件

•  MATLAB®数据分析软件适合一般用途数据分析、可视化，以及量测自动化

性能指标：

•  9kHz至3.0或7.5GHz高达7.5GHz的内部前置放大器选项

• 标准电源套件：通道功率、OBW、ACP、CCDF和SEM

• 基本EMI前置放大器量测能力，包括CISPR16-1-1带宽、检波器、振幅修正系数、频带默认、在标记处调频和收听，以及限制线检视的配置选项/选择

•  ±0.5 dB绝对振幅准确度

•  +13 dBm三阶交互调变点（TOI）

•  -142 dBm的显示平均噪声位准（DANL）

•  65 dBc W-CDMA ACLR动态范围（开启噪声修正）

12. 霍尔效应测磁仪（需预约）

型号：Hall8800-II

概述：HALL8800型霍尔效应测量系统主要为结合霍尔效应及van der pauw方法四点测量分析薄膜材料的电阻率，载流子浓度（N Type & P Type）及迁移率等相关参数信息，温度范围在室温（300K）及77K环境下测试；另外HALL8686型及HALL8888型可提供变温环境测试，温度范围分别为：77K-423K/77K-623K。薄膜材料包括Si，Ge，SiGe，SiC，GaAs，InGaAs，InP，GaNg，ZnO，Graphene等各类半导体材料，HALL系列霍尔效应测试仪可应用于科学研究，教育以及产品测试等研发应用。

应用范围：研究半导体器件和半导体材料电学特性、精密测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。

规格：

 2-1

•  Sample size：5mm × 5mm----20mm × 20mm

• 样品尺寸：5mm × 5mm---20mm × 20mm（可定制其它各类尺寸）

•  Sample thickness：~3mm

• 厚度：~3mm

 2-2

•  Measurement Temperature：room temperature、77K（option）

• 测试温度：室温~300K（可以选配77K低温组件）

 2-3

•  Measurement Material：Semiconductors material such as Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO（N Type & P Type）

• 测试材质：半导体类材质如：Si，SiGe，SiC，ZnO，GaAs，InGaAs，InP，GaN，ITO等所有半导体薄膜（P型和N型）

 2-4

•  Magnet Flux Density：0.48Tesla～0.8Tesla

• 磁场强度：0.48Tesla～0.8Tesla（视磁铁间距不同而有所差异）

 2-5

•  Magnet Stability：±2% over 1 years

• 稳定性：±2%（超过一年）

 2-6

•  Uniformity：±1% over 30mm diameter from center

• 均匀度：±1%（从中心点至30mm直径圆范围内）

 2-7

•  Pole Gap：20mm

• 磁极间隙：20毫米

 2-8

•  Output current：1nA~20mA

• 输出电流：1nA~20mA

 2-9

•  Input voltage range：1μV to 10V

• 输入电压范围：1μV~10V

 2-10

•  Hall voltage range：10uV to 2000mV

• 霍尔电压范围：10uV to 2000mV

 2-11

•  Resistivity（Ωcm）：10^-5 to 10⁷

• 电阻率（Ωcm）：10^-5 to 10⁷

 2-12

•  Mobility（cm²/Voltsec）：1~10⁷

• 迁移率（cm²/Voltsec）：1~10⁷

 2-13

•  Carrier Density（cm^-3）：10⁷ ~ 10²¹

• 载流子浓度（1/cm^-3）：10⁷ ~ 10²¹

 2-14

•  Dimensions（L/W/H）：390mm*360mm*120mm

• 尺寸：390mm*360mm*120mm

 2-15

•  Weight：6.2kg

• 重量：6.2kg

13. 脉冲码型发生器

型号：Agilent 81110A

仪器特点：

• 带有1或2个Agilent 81111A输出模块（单信道或双信道）的Agilent 81110A是165 MHz的脉冲码型发生器，可替代工业标准的Agilent 8110A，它只占用较小的内存，即可提供增强的性能。相对于Agilent 81104A，81110A可提供与之相同的特性，并且具有更宽的频率范围。在非PLL模式下的延迟、脉冲宽度以及重复率也更精确 （3%量级，经自校准为0.5%）。

• 而带有1或2个Agilent 81112A输出模块（单信道或双信道）的Agilent 81110A是330 MHz的脉冲码型发生器。可选择800ps或1.6ns的跳变沿，以代替可变的跳变。源阻抗为50欧姆，可在50欧姆上提供高达3.8Vpp的电压。该模块不支持内部信道相加功能。

性能指标：

• 单/双通道脉冲/码型发生器

 Agilent81112A330MHz，3.8V，50Ohm至50Ohm

 165MHz，10V，50Ohm至50Ohm（81111A）或

 330MHz，3.8V，50Ohm至50Ohm（81112A）

• 可选择触发或PLL操作

• 可选择脉冲或突发或码型模式

• 提高时序精度的自校准

• BNC输出：单端（81111A）或差分（81112A）

要求1和或2个输出模块81111A或

要求1和或2个输出模块81112A

• 用易于使用的Agilent8110A型图形用户界面进行公共操作

• 公共程序：所有81100与8110A使用同样的GPIB/SCPI命令

• 100%形态及装配兼容性

• 前向兼容性

14. 信号分析仪

型号：Keysight N9010A

测量应用和软件：

• 支持超过25种测量应用软件，包括蜂窝通信、无线连通性、数字视频和通用测试

•  EXA内部运行的89600 VSA软件可执行超过75种信号格式的先进信号分析

• 标配包括Keysight PowerSuite一键式功率测量

•  MATLAB数据分析软件可执行通用数据分析、显示和自动测量

性能指标：

•  10Hz至3.6，7，13.6，26.5，32或44GHz高达44GHz的内部前置放大器选件

•  25MHz（标配）或40MHz（可选）分析带宽

• 基本EMI预先一致性测量功能，包括CISPR16-1-1带宽、探测器、幅度校正因数、频段预置、游标处调谐和监听以及限制线

•  ±0.27 dB绝对幅度精度

•  +15 dBm三阶截获（TOI）

• 利用前置放大器可生成-163dBm显示平均噪声电平（DANL）

•  -73 dB W-CDMA ACLR动态范围（噪声修正功能启动）

自动测试和通信接口：

• 符合LXI标准，并支持SCPI和IVI-COM

•  USB3.0、1000Base-TLAN、GPIB

• 远程编程语言兼容PSA、ESA、8566/68和856x

• 通用的X系列用户界面/开放式Windows7操作系统（标配）

15. 数字示波器

型号：Agilent DSO1024A

仪器特点：

1. 大型示波器的性能

• 200 MHz 带宽

• 4 个模拟通道

• 2 GSa/s 采样率（半信道），1 GSa/s 每信道

• 20 kpts 存储器（半信道），10 kpts 每信道

2. 更多的信号显示

• 5.7 英寸宽视角彩色 LCD 显示屏

• ‘真实缩放（True zoom）’模式可同时查看大图和细节

3. 更多功能

• 23 种自动测量，例如频率和 V 峰-峰

• 序列模式可记录和回放捕获到的波形

• 可选择的带通滤波

• 先进的触发可捕获偶发信号

4. 更高效率

• 合格/不合格模板测试自动检测异常波形

• 波形数学函数和 FFT 函数提供即时信息

• 前面板标注覆盖图、图形用户界面和手册提供了 11 种语言版本

• 3 年标准保修期

性能指标：

16. 功率计

型号：Agilent N1911A

仪器特点：

• 可提供宽带宽和高性能测量，专为无线信号（如WiMAX、WLAN和雷达信号）的高性能测量而设计。其预定义设置能用于捕获具有高猝发率和功率随时间快速变化的不可预期无线信号

• 可提供宽带（30 MHz视频带宽）峰值、平均值、峰均比、最大功率值、最小功率值、上升时间、下降时间及统计（CCDF、PDF）测量

性能指标：

• 单信道N1911A，双通道N1912A

• 30 MHz视频带宽

• 以100 Msa/s的采样率进行单次触发实时捕获，可进行快速、准确、可重复的功率测量

• 峰值、平均值、峰均比功率测量上升时间、下降时间、脉冲宽度、出现正/负脉冲时间的时间测量定时选通和自由运行测量模式

• 高速互补累积分布函数（CCDF）统计分析，具有图形和表单格式

• 当连接到被测件时进行内部调零和校准（P-系列传感器）

• 通过22种预设置（WiMAX和WLAN等）简化测量设置

• 用于脉冲测量的自动伸缩、自动选通和占空比显示

• USB、LAN和GPIB标准连接，符合LXI-C类标准

• 兼容所有的8480系列、N8480系列、E441X和E930X系列、E932x系列、P系列传感器

• 后向兼容性：代码与EPM-P和EPM系列功率计兼容

17. 通道逻辑分析仪

型号：Agilent 16801A

逻辑分析仪配置：

• 带有触摸屏的15inch（38.1cm）彩色显示器

• 34通道便携式逻辑分析仪，具有高达32M采集存储器深度，相当于带有内置码型发生器的型号

• 综合的单端信号支持，阈值调整范围从-5V至5V（以10mV为增量）

定时分析（异步采样）：

• 4GHz（250ps）定时缩放，64K存储器深度

• 使用深存储器的1.0GHz/500MHz（半信道/全信道）传统定时

• 500MHz转换定时

• 状态分析（同步采样）

• 状态时钟速率高达250MHz

• 数据速率：高达250Mb/s

• 自动设置阈值/样本位置，实现在高速总线上的精确测量

• 同时监测所有通道上的眼图，快速发现故障信号

18. 手动探针测试台

型号：ST-103A

厂商：中国电子科技集团公司第四十五研究所

使用范围：主要用于各种半导体器件芯片的电参数测试，适用于科研、试制及小批量生产和检验测试。

性能指标：

1. 导轨丝杠工作台

• 可测片径：3″、4″、5″、6″

•  X、Y向工作行程：154mm×154mm

• 标准配置显微镜放大倍数：14-90X，特殊

2. 需求可达225X

3. 承片台机构

•  Z向行程：2mm

•  θ向旋转：±45º

4. 针环

• 测试方式：可调探头

• 最多可布可调探头数10支、打点器1支

• 标准配置打点电压：24V/48V

5. 使用环境：

• 功耗：50W

• 外形尺寸（长×宽×高）：600mm×460mm×510mm

• 重量：约50kg

• 使用温度环境：15ºC-25ºC

• 相对湿度：＜70%

• 电源：AC220V±22V/50Hz

• 真空源：0.08MPa（用户自备）

19. 脉冲/数据发生器

型号：Agilent 81104A

性能指标：

• 与外部时钟同步（固定和可变延迟）

• 2ns可变跃变时间,在50Ω上达10Vpp（开路为20Vpp）

• 达500ps（ECL）的快速跃变

• 2ps定时分辨率

• 0.01%的频率准确度

• 任何定时参数变化时无毛刺和陷落

• 脉冲、脉冲列、模式（数据）工作方式，数据序列

• 可增加模拟或数字通道

• 1或2个通道

• 4种型号的软件100%兼容

20. 直流电源

型号：Keysight E3632A

额定输出

• 量程 1：0 至 15 V，7 A

• 量程 2：0 至 30 V，4 A

编程精度（25°C ±5°C）

• 电压： 0.05% + 10 mV

• 电流： 0.2% +10 mA

纹波和噪声（20 Hz 至 20 MHz）

• 正常模式电压： <350 μVrms/2 mVpp

• 正常模式电流： <2 mA rms

• 共模电流： <1.5 μA rms

读回精度（25°C ±5°C）

• 电压： 0.05% + 5 mV

• 电流： 0.15% + 5 mA

21. 多通道输出直流电源

型号：Keysight E3620A

仪器特点：

• 单路输出（E3610A-E3617A），E3620，E3630分别有两路和三路输出

• 可靠和方便的台式电源，外形小巧，节省空间

• 通过低纹波输出和出色的调制，增强测量结果

• 应用了CV/CC模式能力，可作为电压源和电流源使用

• 双量程输出，能够以更低电压提供更大电流（E3610A/11A/12A）

• 远地检测补偿引线上的压降（E3614A/15A/16A/17A）

• 过压保护确保被测设备的安全性（E3614A/15A/16A/17A）

• E3620A、E3630A都有单独分开的数字面板来监测同时输出的电压和电流

性能指标：

• 输出率（在40°C到55°C时最大减额电流是每°C3.3%）

• 输出1：0到25V，0到1A

• 输出2：0到25V，0到1A

• 电源（最大）：50W

• 涟波与噪声（20Hz到20MHz）

• 正常模式电压rms：350µV

• 峰对峰值：1.5mV

• 负载与线路调节

• 0.01%+2mV

• 仪表分辨率

• 电压：10mV（0-20V）、100mV、（>20V）

• 电流：1mA

22. 恒压恒流稳压电源

型号：APS3005Si

厂商：安泰信电子有限公司

仪器特点：

• 恒压恒流稳压电源

• 真正毫安级精度电源，显示为5.000A

• 多种保护功能，包括限流降压、短路保护，过温保护等，在使用中如出现有短路过热运行状况，保护电路将终止输出回路，保证设备不被烧毁

• 广泛应用在精度要求高的工厂企业生产线

性能指标：

• 交流输入电压：AC220V±10% 50Hz

• 额定输出电压：0-30V连续可调

• 额定输出电流：0-5A连续可调

• 功率：150W

• 显示精度：电压0.1V，电流1mA

• 显示准确度：±0.5% rdg+2个字

• 纹波和噪声：≤3mVRMS

• 负载稳定度：≤0.1%+5mV

• 数显分辨率：电压0.1V，电流0.001A（测试条件30V/3A）

• 保护方式：限流降压方式、短路保护、过温保护

• 工作方式：恒流恒压

• 工作散热方式：强风制冷